薄膜厚度測(cè)量?jī)x

PROFILER 140E采用MOCON專利性的電容傳感器技術(shù)和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，能實(shí)現(xiàn)下面功能：

 

實(shí)際的統(tǒng)計(jì)過程控制功能包括一個(gè)在多次測(cè)量基礎(chǔ)上的X平均值和R的圖線顯示。每個(gè)測(cè)量（或樣品）用一根單獨(dú)的豎線表示，這根線的上下頂點(diǎn)代表著在這個(gè)樣品上測(cè)量得到的*大或*小讀數(shù)。平均厚度是用許多點(diǎn)連接成的一根線來(lái)表示的，同時(shí)相關(guān)的匯總數(shù)據(jù)顯示在屏幕下方。測(cè)試數(shù)據(jù)可以用表格 或/和 圖線的方式來(lái)顯示。

 

兩次厚度測(cè)量（例如：基材厚度和涂層后的材料厚度）后可以自動(dòng)計(jì)算涂層厚度，屏幕的上半部分顯示的圖線是涂層后的和未涂層的基材厚度，屏幕下半部分顯示的圖線是涂層的厚度。通過使用另一個(gè)更高解析度的標(biāo)尺來(lái)更清晰地觀察涂層情況。

 

PROFILER 140E 利用電容方式精確地測(cè)量膜的厚度。傳感元件包含兩個(gè)狹窄的金屬片,當(dāng)被測(cè)量薄膜作為絕緣體將這2個(gè)金屬片分開時(shí),就形成一個(gè)電容。隨著膜厚的變化，電容值隨之變化，傳感器可以將電容值變化轉(zhuǎn)化數(shù)字信號(hào)，通過計(jì)算機(jī)顯示出實(shí)時(shí)的屏幕曲線，并有多種時(shí)間記錄和記錄保存功能。

 

PROFILER的電容傳感器式設(shè)計(jì)可以檢測(cè)出厚度的分布偏差，而這是傳統(tǒng)測(cè)厚方法無(wú)法達(dá)到的。PROFILER利用傳統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)方法，如單位面積的重量或者千分尺來(lái)測(cè)定薄膜上某個(gè)單獨(dú)點(diǎn)，PROFILER可以參考這個(gè)點(diǎn)，來(lái)精確地給出整個(gè)樣品從邊到邊的厚度情況。PROFILER將這些校準(zhǔn)存儲(chǔ)在穩(wěn)定內(nèi)存中，方便操作者調(diào)用。

 

測(cè)量方法：   專利性的非核的電容傳感器

厚度范圍：    0.25~100mils (6.4~2540µm)

厚度分辨率：0.001mil (0.025µm)或測(cè)量值的0.01%，取大者

線性分辨率：*低為0.2mm，取決于設(shè)置的速度。

可重復(fù)性：0.01mil (0.25µm)或測(cè)量值的0.5%, 取大者

測(cè)量精度：0.5%

新傳感器的溫度穩(wěn)定性：十倍優(yōu)于傳統(tǒng)和同類競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品.

可存儲(chǔ)校準(zhǔn)的數(shù)量: 約120個(gè)/360K 存儲(chǔ)碟上

薄膜輸送速度：60和300 cm/min