中圖儀器激光干涉儀

激光干涉儀可對機(jī)床、三測機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標(biāo)準(zhǔn)測量各項參數(shù)，如線形位置精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機(jī)床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動螺距誤差補(bǔ)償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機(jī)床動態(tài)特性測量與評估，回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。

激光干涉儀的功能有以下幾方面：
1.自動螺距誤差補(bǔ)償。激光干涉儀不僅能自動測量機(jī)器的位置精度，而且還能通過RS232接口使計算機(jī)和數(shù)控系統(tǒng)實現(xiàn)通信，對誤差進(jìn)行自動補(bǔ)償。它比通常的手工補(bǔ)償方法節(jié)省了大量的時間，同時可*大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點數(shù)，使機(jī)床達(dá)到*佳精度。
2.回轉(zhuǎn)坐標(biāo)精度標(biāo)定。回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定可對數(shù)控轉(zhuǎn)臺在任意角度位置，以任意測量間隔進(jìn)行自動測量及補(bǔ)償。
3.機(jī)床動態(tài)特性測試與評估。利用中圖動態(tài)特征測量與評估軟件，可用干涉儀進(jìn)行杌床振動測試與分析、滾珠絲杠的動態(tài)特性分析、伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析、導(dǎo)軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等，從而幫助用戶對機(jī)器源進(jìn)行分析。
4.觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能。利用觸發(fā)脈沖輸入，可實現(xiàn)外部控制激光干涉儀記錄數(shù)據(jù)，從而可實現(xiàn)類似于激光絲杠動態(tài)精度檢查儀的功能或機(jī)床傳動鏈精度檢查功能。利用觸發(fā)脈沖輸出，可用激光干涉儀定時或定距發(fā)出脈沖，從而實現(xiàn)類似于激光光刻機(jī)的功能。
5.其他用戶接口裝置。可用中圖公司提供的特殊接口軟件，對于現(xiàn)有某些*牌的電子水平儀或數(shù)字指示儀器的用戶，配合中圖激光干涉儀校準(zhǔn)軟件，實現(xiàn)直線度、平面度及垂直度等幾何精度的檢測，從而節(jié)省用戶投資費(fèi)用。

中圖儀器激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

系統(tǒng)性能
測量方式：單頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
預(yù)熱時間：約6分鐘
工作溫度范圍：0~40℃
環(huán)境溫度范圍：0~40℃，環(huán)境濕度：0~95%
存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測量
測量距離：0-40m
測量精度：0.5ppm (0-40℃)
測量分辨率：1nm
測量*大速度：4m/s