真空計的原理以及校準

真空計的原理

按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規（Bourdon）和薄膜電容規；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規和熱電偶規；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。
薄膜電容規
在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規的優點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學性能的影響，使用前一般需要預熱數小時。
皮拉尼電阻規
由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準確度。
這種規的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同，所以這種規需要在不同的使用氣體下標定。
熱電偶規
熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規一樣，這種規也需要在不同的使用氣體下標定。
真空計的校準
1. 一般先校準零點，再進行滿度校準。
校準零點。校準零點需對被測真空系統抽真空，一旦電離規測得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa)，按“校零”按鈕，對應指示燈亮或快速閃爍，真空計自動校正零點，當顯示1.0^-1Pa時，表示規管零點已校準。對于無自動零點校準的電阻真空計，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整。
2.滿度校正。校準完零點后，需對其滿度校正。按滿度校正過程要求，對被測爐腔放人大氣，確保被校電阻規所測位置為大氣狀態，在大氣壓下工作約10分鐘。按“滿度”按鈕，對應指示燈亮或快速閃爍，真空計自動校正滿度，當顯示1.0^5 Pa時，表示規管滿度已校準。對于無自動滿度校準的電阻真空計，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整。

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