直線度測量是幾何量計量領域里一個基本的項目，它是平面度、平行度、同軸度等幾何測量的基礎，是與尺寸精度、圓度和表面粗糙度同稱為影響產品質量的四大要素，在生產實踐中受到高度重視，出現了很多種直線度的測量方法和裝置。
直線度誤差是指實際直線對理想直線的變化量，反映了被測直線的不直程度。根據ISO推*的標準和國家標準，直線度誤差可分為給定平面內的直線的誤差、給定方向的直線度誤差和任意方向內的直線度誤差。通常，給定平面內的直線度誤差和給定方向內的直線度誤差被稱為平面直線度誤差，任意方向內的直線度誤差被稱為空間直線度誤差。
深孔表面為回轉體表曲，深孔直線度公差帶根據要素的特征及其使用要求，分為限制圓柱面直母線形狀誤差的兩平行直線和限制圓柱體軸線形狀誤差的圓柱體兩種。深孔直線度檢測是精密深孔零件加工過程中的重要組成部分，是對深孔零件進行質量控制和管理的重要手段。是貫徹質量標準的技術*保*，有著極其重要的意義。
本文介紹的是激光測量法對深孔內徑直線度進行檢測的方法。檢測設備的基本原理是利用直線性非常好的激光為參照，通過PSD傳感器可精確定位光的能量中心位置的功能來實現對內孔直線度的檢測。
PSD是利用離子注入技術制成的一種可確定光的能量中心位置的結型光電器件，它的優點主要有：1、對光斑形狀無嚴格要求，在光聚焦不理想的情況下也不影響測量精度；2、光敏面上無象限分割線，消除了測量死區；3、對光斑位置可連續測量。4、測量精度高，一維精度可達0.2um。本方案選取的PSD為二維的，光的能量中心位置以“X軸，Y軸”的坐標值顯示（如圖1所示），測量精度為±15um。計入其他誤差后檢測精度為±0.05mm。
PSD芯片監測到的激光能量中心位置信號將通過數據采集電路采集、放大并進行數字化處理后傳輸到上位機進行處理。
總之，集光、機、電、計算機等新技術于一體的新型激光準直測量儀器，可以對深孔零件進行實時快速非接觸測量，是精密深孔直線度測量技術的發展方向。
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