雙頻激光外差干涉儀

一、概述

sj6000雙頻激光外差干涉儀是以光波為載體，以光波波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量、檢測(cè)儀器，通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何量的精密測(cè)量；在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。

中圖儀器SJ6000雙頻激光外差干涉儀以技術(shù)實(shí)力為依據(jù)，在測(cè)量精度、測(cè)量速度、測(cè)量類(lèi)型等方面，為用戶提供了更多選擇。

二、SJ6000功能特點(diǎn)

1、測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米*；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，*證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，*證干涉光路穩(wěn)定。

2、具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測(cè)功能。可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測(cè)量。

3、可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

4、具有動(dòng)態(tài)測(cè)量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線）及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。

5、內(nèi)置各種類(lèi)國(guó)標(biāo)（GB）、ISO（）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測(cè)量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

6、可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

7、測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類(lèi)型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。

8、安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。

三、SJ6000技術(shù)參數(shù)

四、SJ6000使用說(shuō)明

1、 必須定人保管，機(jī)加技術(shù)組人員專人，專人送檢，他人不得隨意動(dòng)用，以防損壞，降低精度。
2、 要設(shè)置專庫(kù)存放，環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。
3、 對(duì)儀器要小心輕放，避免強(qiáng)烈的沖擊震動(dòng)，安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性，整個(gè)作業(yè)過(guò)程中工作人員不得離開(kāi)儀器，防止意外發(fā)生。
4、 應(yīng)避免在溫度變化大、有風(fēng)、潮濕環(huán)境下測(cè)量，此時(shí)檢測(cè)結(jié)果將收到很大的影響。
5、 中圖所配用的筆記本為筆記本，該筆記本不得外借，也不能安裝任何其他軟件，防止軟件沖突和病毒，保障測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確，以防測(cè)量數(shù)據(jù)丟失。
6、 測(cè)量人員在拿取干涉儀之前，需先填寫(xiě)使用申請(qǐng)單，填寫(xiě)申請(qǐng)表后，負(fù)責(zé)人需先檢查干涉儀器件完整與否，器件是否良好。然后再得到部門(mén)簽字后，方可使用。對(duì)其他部門(mén)人員如借用，需填寫(xiě)借用干涉儀使用申請(qǐng)單，負(fù)責(zé)人需先檢查干涉儀器件完整與否，器件是否良好。然后再得到部門(mén)簽字后，方可借用。當(dāng)干涉儀使用后，將要存庫(kù)時(shí)，負(fù)責(zé)人必須點(diǎn)清器件，且所有器件良好，此時(shí)才能將干涉儀入庫(kù)備案。
7、 負(fù)責(zé)人要每月對(duì)的器件進(jìn)行清點(diǎn)，并查看是否有損壞、磨損等異常情況，將檢查報(bào)告予以備案。

SJ6000雙頻激光外差干涉儀用途

1、激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機(jī)床的誤差，修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場(chǎng)使用尤其方便。
2、激光干涉儀配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。
3、激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量系統(tǒng)。
4、激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量元件的檢測(cè)和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃定位。