光學(xué)表面3D輪廓儀

光學(xué)表面3D輪廓儀SuperViewW1集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，結(jié)合采用擴(kuò)展型的相移算法EPSI讓3D測量變得簡單。

產(chǎn)品性能

縱向掃描：≤10.3mm，與選用物鏡相關(guān)

掃描幀速：50FPS/s

粗糙度重復(fù)性：0.005nm（依據(jù)ISO 25178-2012）

光學(xué)分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關(guān)

至大點(diǎn)數(shù)：1048576（標(biāo)準(zhǔn)）

臺階測量：準(zhǔn)確度≤0.3%，重復(fù)性≤0.08%1σ

光學(xué)表面3D輪廓儀SuperViewW1結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米*別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

參數(shù)測量：粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積，一網(wǎng)打盡；

環(huán)境噪聲檢測：實(shí)時監(jiān)測，納米波動，也無可藏匿；

雙重防撞保護(hù)：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石”也能安然無恙；

自動拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無縫”；

雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動山搖，我自巋然不動”。

現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，表面三維微觀形貌的測量能更真實(shí)地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量。3d形貌輪廓儀器就是用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器?？梢赃_(dá)到納米*的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中，可以說只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米*粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。