中圖儀器3d光學輪廓儀

技術參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋：更多詳細產品信息，請聯系我們獲取

SuperViewW1中圖儀器3d光學輪廓儀操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。只需要操作者裝好被測工件，在軟件里設好視場參數，把物鏡調節到被測工件表面，選擇自動聚焦后，儀器就會主動找干涉條紋開始掃描測量。然后自動生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質量的2D、3D參數，完成工件表面形貌一鍵測量。

可廣泛應用于微機電、為納米材料、光學加工、超精密加工、3C電子、半導體等行業中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數的測量和分析。