半導體設備專用羅茨真空泵

東莞市普諾克真空科技公司擁有一支集研發、生產、銷售、售后為一體的強大隊伍，優質的羅茨真空泵產品、專業的真空知識、在真空系統建造方面的豐富經驗以及快速的服務，為客戶提供理想、完善的真空解決方案并贏得了高度贊譽，需要了解更多半導體設備專用羅茨真空泵信息的朋友請登錄。

羅茨真空泵產品特點：

1.馬達多樣性

每一臺普諾克羅茨真空泵的馬達都可采用風冷或水冷，以*保*客戶的正常使用

泵整體采用鋁合金或鑄鐵材料，實現泵散熱快、耐腐蝕性強等優點

2.結構簡單 維護方便

轉子型線通過精心設計產用圓弧轉子方式使泵的設計更加緊湊

抽氣效果更加突出，相比同級別其它廠家抽速有很大提高

維護起來也很方便，維護費用非常低

3.高清潔真空

羅茨泵泵腔內沒有任何能與空氣發生化學反應的介質

確保被抽氣體不受二次污染,實現高清潔真空

4.*能泵  助力泵

羅茨泵也稱助力泵，可以與螺桿泵、放片泵、水環泵、滑閥泵

分子泵等泵組成泵組，大大提高抽氣速率和真空度

正常情況下可以高10倍以上的真空度！

安裝尺寸圖

半導體設備專用羅茨真空泵產品參數：

型號：PNK MR 0600T

額定流量（50Hz）：600 m³/h

極限壓力：≤0.05 Pa

*大允許壓差：≥1.2x10⁴ mbar

馬達頻率：50 Hz

馬達額定功率：3 Kw

連接口進氣口：ISO100

連接口排氣口：ISO80

轉數（50HZ）：2900 PRM

重量：198 Kg

推*前級泵：PNK SP 0100

產品曲線圖

羅茨真空泵前級泵選擇：

羅茨真空泵不能單獨使用，必須配上前級泵組成機組，使用前級真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力，由于羅茨真空泵的壓縮比是有限的，所以選擇前級真空泵的抽速是重要的，羅茨真空泵的*大壓縮比是隨排出壓力而變化的，在高排出壓力下，*大壓縮比*多大3：1，而*高壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間（1 mbar=0.75Torr）可達50:1，甚至更高些。

因此，選擇前級泵的抽速，要根據羅茨真空泵的長期工作壓力范圍考慮。

例如有一系統用羅茨真空泵機組抽氣，要求在1 mbar入口壓力時有600升/秒的抽速，并長期工作，問應選擇多大抽速的前級泵。

先假定用30升/秒的前級泵時，壓縮比K=600：30=20得出K=20時*大排出壓力為30 mbar。

由此得出，當選用30升/秒前級泵時，在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar入口壓力工作時就選用大一些前級泵了。該例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統的抽氣要求。

另外應當考慮的是，對預抽時間的要求問題，如果正常工作時間遠比預抽時間長，可選較小的前級泵;假如真空室較大，而且要求很快預抽，就要用較大的前級泵，有時為了更好發揮設備的效率，機組裝有較大的預抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級泵維持，這樣做是為了節約功率。

對羅茨真空泵機組的極限壓力的要求，也是選擇前級泵的必須考慮的，對極限真空度要求較高（達1X10^-3Pa～1X10^-2 Pa壓力）一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。極限真空度要求在（1X10^-2 Pa～1X10^-1Pa）之間可選用單級油封機械泵作為前級泵，極限真空度要求在133～1333Pa之間可選用往復式真空泵或液環式真空泵作為前級泵。

當選用往復式或液環式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。

選用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機械泵，油封機械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時，也必須采用帶有氣鎮裝置的油封機械泵作為前級泵。

為了獲得在低入口壓力（1~100pa）時的高的抽氣速率，可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機組，此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。

半導體設備專用羅茨真空泵產品圖片