半導體專用螺桿真空泵

半導體專用螺桿真空泵特征特點：

1. 結構簡單緊湊：對旋向相反的螺桿、泵體、端蓋、密封件等部件組成，結構非常簡單，非?？煽俊?span>

2. 抽氣腔原件無摩擦：螺桿和泵體之間均有一定間隙。

3. 使用壽命長：由于腔內部部件之間不摩擦，潤滑油在非氣體過流部分部件中循環。

4. 真空度高：單臺螺桿干式真空泵可替代三級羅茨泵水環真空機組。

5. 無污染：無需任何工作介質，因此無油污染，無污水。

6. 噪音低：一般情況下為80分貝左右。

7. 適宜抽可凝性氣體（如水蒸氣等）、含粉塵的氣體。

8. 從大氣抽至極限壓力5Pa，只要一臺泵就能解決。

9. 干式運行，溶酶回收更容易。

10. 潤滑油在兩端，因此無油耗。

11. 可與羅茨泵組成真空系統，獲得更高的極限真空度和增大抽速。

12. 可與分子泵組成真空系統，真正達到無油環境。

13. 獨有自動控制系統，使泵更加安全、可靠、方便使用。

14. 螺桿端面型線是等距單頭轉子型線，穩定性極高，適應范圍廣。

15. 進氣口標配單向截止閥，防止氣體回流，保護反應釜內的物質。

16. 出氣口標配消音器件，無需客戶另外購買。

17. 提供二種防腐蝕材料選擇：鎳磷合金、特氟龍。

18. 獨特自主研發的高科技的自動控制系統，操作方便、簡單、可靠、安全。

19. 使用成本極低：和傳統真空泵相比，螺桿真空泵不使用真空泵油、水或其它液體作為介質，使用成本極低，也不污染環境。

20. 幾乎不須維修：由于螺桿泵的結構特別簡單，所以螺桿泵在使用中非?？煽俊Ｖ灰M行正常定期保養，維修的概率很低。配上本公司獨有的自控系統，可以有效消除螺桿的積碳、積垢、長時間不用后容易卡死等現象。

半導體專用螺桿真空泵參數：

型號：PNK DSP 0460

額定流量：460m³/h

極限壓力：1Pa

電機功率：15kw

轉速：2900/3500rpm

噪音：75dB(A)

吸氣口：80mm

排氣口：65mm

冷卻水量：15-20L

空溫：0-50℃

操作濕度：90%RH

安裝圖

曲線圖

東莞市普諾克真空科技有限公司坐落在中國制造名城----東莞，是一家集旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵及真空應用成套設備的專業生產廠家。

公司技術力量雄厚，工藝設備先進，產品質量上乘，配套齊全，是指引國內真空潮流的專業廠家。公司擁有真空泵，真空設備設計專業的技術人員，并不斷吸收先進的技術與人才。具有先進的設計和制造工藝技術，擁有專業的真空設計開發中心，致力于開發，生產適應市場需求的新一代產品。

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半導體專用螺桿真空泵產品圖片