半導體晶圓盒超聲波清洗機---威固特

半導體晶圓盒超聲波清洗機VGT-507FH

在半導體制造工藝中，晶圓盒（Cassette）作為承載和傳輸晶圓的核心容器，其清潔度直接影響晶圓的良率和工藝穩定性。晶圓盒在反復使用中會積累顆粒、有機物、金屬污染等污染物，傳統清洗方法難以徹底清除其微孔與縫隙中的納米*殘留。而VGT-507FH超聲波清洗機憑借其創新技術，正在成為解決這一行業痛點的關鍵設備。

超聲波清洗技術在半導體領域的重要性：

半導體制造對清潔度的要求近乎苛刻。晶圓盒表面的微粒殘留可能導致芯片電路短路，金屬離子污染會改變半導體材料的電學特性。隨著制程節點進入5納米以下，晶圓盒需滿足清除>99%的亞微米*微粒（<10nm）及金屬污染物的能力，金屬污染濃度需低于1×10? cm?2。

超聲波清洗通過空化效應實現非接觸式清潔：高頻超聲波在清洗液中產生微氣泡并瞬間破裂，形成超過1000個大氣壓的微射流沖擊力，能深入晶圓盒的復雜幾何結構（如卡槽、鉸鏈縫隙），剝離頑固污染物。相較于高壓噴淋或化學浸泡，該技術大幅降低損傷風險，尤其適合處理精密構件。

VGT-507FH系列在此基礎上更進一步，通過雙頻超聲波協同（如40kHz與68kHz組合），既可清除較大顆粒，又能處理納米*殘留，適配不同污染場景。

VGT-507FH的清洗流程與核心技術：

多*拋動清洗：

拋動機構通過偏心輪驅動線性滑塊，使晶圓盒在槽內勻速上下運動，增強液體摩擦。其運行穩定性好、噪聲小，且可避免工件過重導致的系統損壞。

智能流體管理：

儲液箱通過隔板分腔實現清洗液自循環，分離的油污排至總管道；配冷卻水管與液位報警系統，保障工藝穩定性。

**干燥技術：

采用“先切水后烘干”設計：風刀切水階段利用高壓氣流剝離表面水滴；熱風烘干槽通過不銹鋼風管均勻導入過濾后的熱空氣，頂部活動缸蓋隨托架升降，密封性優異。

多功能擴展與工業*設計：

盡管VGT-507FH*初應用于鍍膜套環清洗，但其技術特性可無縫遷移至晶圓盒清洗場景：

模塊化兼容性：

設備支持集成酸洗、堿洗或超純水漂洗模塊，滿足半導體清洗中不同化學試劑（如DHF、SC-1液）的需求。

工業4.0適配：

可選配觸摸屏系統與自動機械手，實現無人化操作。PLC系統實時監控溫度、濃度等參數，確保工藝一致性。

環保與經濟性：

循環過濾系統（0.1μm濾芯）減少超純水與化學溶劑的消耗；封閉式腔體設計防止揮發，降低廢液處理成本。

半導體制造的本質是控制微觀世界的“塵埃”，而晶圓盒作為晶圓的“襁褓”，其潔凈度是良率保衛戰的**道防線。VGT-507FH通過空化效應與精密機電控制的結合，在微觀戰場構建了一座動態清潔堡壘。未來，隨著清洗工藝與智能制造的深度融合，這類設備將不僅清除有形之污，更可能成為半導體工廠數據流中的“清潔節點”——在去除污染物之余，同步凈化生產參數中的異常值，*終實現從物理潔凈到數字潔凈的跨越。